稀有气体回收;合理回收再利用积极改善低碳环境;节约资源降低污染,氩气回收是提高效益的有力措施;氩气在空气中含量极低(),通常作为副产物从空分制氧过程中分离提取,所以高纯氩气生产成本较高。高纯氩气(纯度>)是单晶硅和多晶硅制备过程中必不可少的净化和保护气。近年来,太阳能光伏发电行业发展迅猛,氩气需求量激增,其价格持续攀升,甚至出现供不应求的局面,严重影响、甚至制约我国光伏产业的发展。国外氩气净化回收技术昂贵且产能规模有限。我国有团队日前研发出高活性、高稳定性的相关催化技术,并根据规模化光伏单晶炉氩气净化回收的工业需求,研发出成套工艺技术及其装备,中试样机于2019年12月在包头美科硅能源有限公司一次开车成功。在较温和条件下,有效消除单晶炉氩气尾气中多种杂质,净化后氩气中各种杂质浓度低于,远优于光伏晶硅生产过程的PV6-1110氩气行业标准(杂质浓度关于氩气纯化的方法第一种直接脱氧法。就是使用活性金属与氩气中的氧气进行反应,消化掉氩气中的氧气,从而达到脱氧的目的,经过分子筛吸收掉氩气中的水份,使氩气的含水量小于1ppm。第二种是采用吸气剂。在一定温度下,吸气剂可吸收氮、氢、氧、一氧化
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